ISO 14644 根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標(biāo)來劃分潔凈室（區(qū)）及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（USA Federal Standard）209E（1992年）
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潔凈度級別 |
粒 徑 (um) |
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0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5.0 |
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1 |
35.0 |
7.50 |
3.00 |
1.00 |
NA |
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10 |
350 |
75.0 |
30.0 |
10.0 |
NA |
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100 |
NA |
750 |
300 |
100 |
NA |
|
1000 |
NA |
NA |
NA |
1000 |
7.0 |
|
10000 |
NA |
NA |
NA |
10000 |
70.3 |
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100000 |
NA |
NA |
NA |
100000 |
700 |
